1. Kekakuan Tinggi-kepada-Nisbah Berat untuk-Dinamik Kelajuan Tinggi
Dalam litografi dan ikatan, komponen mesti bergerak pada kelajuan tinggi dengan lag sifar. Seramik Termaju memberikan ketegaran yang melampau (Modulus Muda Tinggi) sambil jauh lebih ringan daripada keluli. Ini mengurangkan inersia, membolehkan pecutan dan nyahpecutan yang lebih pantas tanpa menjejaskan ketepatan kedudukan dalam sistem pengendalian wafer.
2. Kekonduksian dan Kestabilan Terma yang tiada tandingan
Proses semikonduktor menjana haba setempat. Bahan seperti Silicon Carbide menawarkan kekonduksian terma yang sangat baik, dengan cepat menghilangkan haba untuk mengelakkan ubah bentuk setempat. Ini memastikan chuck vakum seramik dan peringkat wafer kekal rata dengan sempurna, mengekalkan satah fokus semasa langkah pendedahan UV kritikal.
3. Rintangan Haus dan Inersia Kimia
Seramik hampir sekeras berlian. Rintangan haus ini memastikan bahagian yang bergerak mempunyai hayat perkhidmatan yang sangat panjang tanpa menghasilkan zarah. Tambahan pula, inersia kimianya menjadikannya serasi dengan gas goresan keras dan agen pembersih yang digunakan dalam-pemprosesan semikonduktor hujung hadapan.
Perbandingan Bahan Seramik
| Harta benda | Alumina (Al2O3) | Silikon Karbida (SiC) |
| Kekerasan Vickers | 1500 HV | 2500+ HV |
| Modulus Elastik | 350 GPa | 450 GPa |
| Termal Cond. | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
Soalan Lazim: Soalan Utama Dijawab
Mengapa menggunakan SiC dan bukannya Alumina? SiC mempunyai kekukuhan yang lebih tinggi dan kekonduksian terma yang lebih baik, walaupun ia lebih mahal.
Adakah bahagian seramik rapuh? Walaupun rapuh, kekuatan mampatannya adalah besar, menjadikannya ideal untuk beban ketepatan.
Apakah industri yang menggunakan seramik ini? Terutamanya industri semikonduktor, aeroangkasa, dan pemotongan laser.
Bolehkah anda menghasilkan bentuk seramik tersuai? Ya, kami menawarkan pemesinan seramik OEM tersuai untuk komponen mekanikal yang kompleks.
Apakah saiz maksimum? Kami boleh menghasilkan-bahagian struktur seramik berskala besar sehingga 1000mm atau lebih melalui ikatan bersegmen.
Adakah seramik memerlukan pembersihan khas? Ia sangat tahan terhadap bahan kimia, menjadikannya sangat mudah dibersihkan untuk kegunaan bilik bersih.