Semikonduktor Platform Granit

UNPARALLELED LTD ialah salah satu pengeluar terkemuka dan pembekal semikonduktor platform granit di China. Dengan pengalaman yang banyak, kami sangat mengalu-alukan anda untuk membeli semikonduktor platform granit canggih buatan China di sini dari kilang kami. Kami juga menerima tempahan tersuai.

Mengapa Peralatan Semikonduktor Memerlukan Lebih Daripada Pangkalan Mesin Standard

Peralatan fabrikasi semikonduktor beroperasi pada toleransi yang menjadikan pembuatan konvensional kelihatan kasar jika dibandingkan. Sistem pengendalian wafer, peringkat penjajaran litografi dan alat etsa plasma memerlukan ketepatan kedudukan yang diukur dalam nanometer-dan prestasi itu bermula dengan apa yang menyokong keseluruhan mesin.

Pangkalan mesin granit untuk aplikasi semikonduktor mesti menahan getaran daripada pam vakum dan pam molekul turbo, mengekalkan sub-kerataan mikron merentas kitaran haba operasi dan menahan gas keluar dalam persekitaran bilik bersih. Kebanyakan platform granit direka untuk pemesinan ketepatan am. Ini bukan kebanyakan platform granit.

Asas mesin granit berketepatan yang TIDAK TERPAKAI untuk peralatan semikonduktor direka bentuk khusus untuk keperluan terma, getaran dan kebersihan persekitaran fab. Granit Hitam UNPARALLELED®-dengan ketumpatan lebih kurang 3,100 kg/m³ dan kestabilan terma lebih baik daripada 0.001mm/darjah -menyediakan kestabilan jisim dan dimensi yang diperlukan oleh alat semikonduktor. Bengkel suhu tetap 10,000m² kami-dengan parit anti-getaran memastikan toleransi kerataan dikekalkan melalui pemeriksaan akhir dan kekal stabil semasa pemasangan di kemudahan anda.

Redaman getaran yang luar biasa. Ketumpatan tinggi UNPARALLELED® Black Granite menghasilkan jisim semula jadi yang menyerap getaran daripada peralatan sekeliling. Dalam fabrik semikonduktor yang berdenyut pam vakum dan getaran motor peringkat merupakan cabaran yang berterusan, tapak granit padat bertindak sebagai penapis getaran pasif-tiada sistem aktif diperlukan, tiada overhed penyelenggaraan.

Kestabilan terma yang sepadan dengan keadaan fab. Kawalan suhu bilik bersih biasanya kekal pada ±0.5 darjah . Pada kestabilan terma 0.001mm/ darjah, tapak sepanjang 2,000mm-mengembang kurang daripada 0.002mm merentasi ayunan 10 darjah penuh-dengan baik dalam kebanyakan belanjawan penentududukan semikonduktor. Granit mengekalkan kestabilan ini sepanjang dekad operasi tanpa kebimbangan degradasi yang mempengaruhi alternatif komposit polimer.

Boleh skala ke sampul peralatan anda. Empat-pengisar NanTey binaan Taiwan kami-setiap satu melebihi $500,000 USD-boleh menyelesaikan platform monolitik sehingga 6,000mm dalam satu persediaan. Untuk bingkai peralatan semikonduktor yang lebih besar, kami menghasilkan-tapak segmen berbilang dengan{10}}permukaan sambungan yang sepadan dengan ketepatan. Satu{12}}kapasiti berat sekeping mencapai 100 tan.

Bahan yang serasi -cleanroom. Granit semulajadi tidak mengeluarkan gas. Tidak seperti polimer granit atau resin-alternatif teras, pepejal UNPARALLELED® Black Granite tidak memasukkan sebatian organik meruap ke dalam persekitaran fab anda. Ini adalah sifat material, bukan rawatan-perbezaan yang penting untuk-kebersihan gred semikonduktor.

Kebolehkesanan penuh daripada bahan mentah kepada penghantaran. Setiap pangkalan dihantar dengan dokumentasi penentukuran yang boleh dikesan melalui Institut Metrologi Wilayah Shandong ke Institut Metrologi Kebangsaan China. Apabila pasukan kualiti anda mengaudit rantaian bekalan, rantaian dokumentasi selesai.

Sistem pengendalian wafer: Tapak granit ketepatan menyediakan asas redaman-getaran yang tegar yang memastikan lengan pemindahan wafer stabil semasa-pemilihan kelajuan tinggi-dan-operasi tempat. Malah pesongan asas kecil semasa pecutan lengan diterjemahkan kepada ralat peletakan yang melebihi spesifikasi peletakan alat. Ketumpatan 3,100 kg/m³ bermakna tapak menahan pergerakan dan bukannya menyerapnya ke dalam gelung kawalan pergerakan anda.

Peringkat penjajaran litografi: Sistem penjajaran optik memerlukan kestabilan geometri yang tidak hanyut dengan suhu atau beban mekanikal. Pekali haba asas granit kurang daripada 0.001mm/darjah, digabungkan dengan kekukuhan yang wujud, memastikan rujukan penjajaran stabil merentasi kitaran haba yang berlaku semasa jujukan pendedahan yang panjang.

Peralatan etsa dan pemendapan plasma: Alat ini menjana getaran dan beban haba daripada sistem penghantaran gas dan tindak balas plasma. Tapak granit dengan kerataan Gred 00 menyediakan satah rujukan yang stabil yang tidak berubah bentuk di bawah beban kitaran ini seperti yang dilakukan oleh bingkai aluminium atau keluli dari semasa ke semasa.

Alat pengukuran dan pemeriksaan di ruang metrologi fab: Apabila anda memerlukan permukaan rujukan yang akan kekal rata selama beberapa dekad tanpa perlu dirangka semula, granit memberikannya. Pakar pengisaran kami-dengan 30+ tahun pengalaman-pada-selesai setiap pangkalan dengan toleransi dengan tangan sebelum dihantar. Mata dan hujung jari manusia, dipandu oleh memori otot berdekad-dekad, menangkap apa yang sistem automatik terlepas.

Apakah gred kerataan yang saya perlukan untuk aplikasi peralatan semikonduktor?

Gred 00 ( Kurang daripada atau sama dengan 0.5μm/m) ditentukan untuk aplikasi semikonduktor yang paling mencabar termasuk peringkat penjajaran litografi dan metrologi ketepatan. Gred 0 ( Kurang daripada atau sama dengan 1μm/m) adalah sesuai untuk kebanyakan sistem pengendalian wafer dan peralatan fab am. Gred 1 ( Kurang daripada atau sama dengan 2μm/m) sesuai untuk pangkalan peralatan berat di mana granit memberikan redaman jisim dan getaran dan bukannya berfungsi sebagai permukaan rujukan ketepatan. Jika anda tidak pasti gred yang sepadan dengan belanjawan toleransi peralatan anda, pasukan teknikal kami boleh menasihati berdasarkan keperluan alat khusus anda.

Bolehkah anda menghasilkan konfigurasi tersuai untuk lukisan peralatan kami?

ya. Kami menerima lukisan pelanggan dalam semua format CAD utama dan pembuatan mengikut had terima yang anda tentukan, corak lubang pelekap dan keperluan dimensi. Konfigurasi tersuai adalah amalan standard untuk kami-bukan terkecuali. Sediakan cetakan anda semasa peringkat pertanyaan, dan kami akan mengesahkan kebolehkilangan dan memberikan sebut harga terperinci termasuk masa utama.

Bagaimanakah UNPARALLELED memastikan kerataan dikekalkan semasa penghantaran?

Penghantaran adalah risiko yang diketahui untuk komponen granit berketepatan besar. Kami menanganinya melalui peti yang dioptimumkan dengan interpolasi buih antara lapisan, orientasi mendatar dalam bekas bertetulang dan pilihan-kontena terkawal kelembapan untuk pengangkutan laut. Kami telah menghantar pangkalan melebihi 10 meter panjang kepada pengeluar peralatan semikonduktor di seluruh Asia, Eropah dan Amerika Utara dengan kerataan dalam spesifikasi semasa ketibaan.

Adakah granit anda sesuai untuk aplikasi kebuk vakum dalam peralatan semikonduktor?

UNPARALLELED® Black Granite ialah batu semula jadi pepejal tanpa lompang dalaman. Ia serasi dengan persekitaran vakum standard yang digunakan dalam pemprosesan semikonduktor. Jika aplikasi anda melibatkan tahap vakum yang melampau atau keperluan keserasian bahan tertentu, kongsi spesifikasi terperinci dan pasukan teknikal kami akan mengesahkan kesesuaian.

Apakah dokumentasi yang anda sediakan dengan setiap penghantaran?

Setiap penghantaran termasuk: laporan pemeriksaan dimensi, laporan pengesahan kerataan dengan nilai yang diukur (bukan hanya tuntutan gred), data kekasaran permukaan, pensijilan bahan dengan ketumpatan dan komposisi kimia, sijil kebolehkesanan penentukuran yang menghubungkan kepada institut metrologi wilayah dan kebangsaan, dan salinan sijil ISO9001, ISO45001, ISO14001 dan CE. Format dokumentasi tambahan tersedia untuk keperluan pelanggan tertentu.

Apakah masa utama biasa untuk pangkalan peralatan semikonduktor tersuai?

Pangkalan Gred 0 standard dalam saiz biasa (sehingga 3,000mm) dihantar dalam tempoh empat hingga enam minggu selepas pengesahan pesanan. Konfigurasi tersuai, saiz yang lebih besar atau keperluan Gred 00 biasanya memerlukan enam hingga sepuluh minggu. Masa petunjuk yang tepat bergantung pada penjadualan pengeluaran semasa dan dimensi khusus anda. Hubungi kami lebih awal untuk mendapatkan masa-projek sensitif-kami mengekalkan penjadualan yang fleksibel untuk pelanggan dengan tetingkap penghantaran yang terhad.

Cool tags: semikonduktor platform granit, pengeluar semikonduktor platform granit China, pembekal, kilang, Komponen Granit Untuk Peralatan Semikonduktor, Granite Vanity Top, mesin cmm manual, mesin mengukur, Mesin Pengukur Koordinat Berbilang Sensor, Granit Sinar-X